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干式真空泵的主要應用

點擊次數:   更新時間:17/06/06 09:34:06     來源:www.seascapecamp.com關閉分    享:

干式真空泵

  干式真空泵作為目前發展趨勢較好的一種泵類,在使用過程中具備非常優異的使用優勢,從而在很多應用場合達到了理想的使用效果,具體應用在:
  1、用于低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
  2、干式真空泵用于半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
  3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;
  4、干式真空泵適用于化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,防止了有機溶劑造成污染;
  5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
  干式真空泵在以上應用中可以做到維護少,省時省力,同時也減少了污染的危害的使用特性,從而深受廣大用戶的歡迎,具備較好的發展趨勢。
  改:2020.3.5

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